1. 일시: 2023년 4월 13일(목), 14:00-16:00

2. 장소: 판교 테크노밸리 산업수학혁신센터 세미나실

   • 경기 성남시 수정구 대왕판교로 815, 기업지원허브 231호 국가수리과학연구소
   • 무료주차는 2시간 지원됩니다.

3. 발표자: 이창옥 교수(한국과학기술원)

4. 주요내용: Defect Inspection in Semiconductor Images Using Fast-MCD Method and Neural Network

Most defect inspection methods used in semiconductor manufacturing require design layout or golden die images. Unlike methods that require such additional information, this talk presents a method for automatic inspection of defects in semiconductor images with a single image. First, we devise a method to classify images into four types: flat, linear, patterned, and complex using a cosine similarity. For linear and patterned images, we obtain defect-free images that retain the structure. Then, we subtract defect-free image from input image to get a flat image. The Fast-MCD method then estimates the parameters of the inlier distribution of the flat image and uses them to detect defects. A segmentation neural network is used to detect defects in complex images.

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